实质上发光光源和反射镜加起来才是。euv光刻机的光源。asml的euv光源，使用的是:DPPEUV光源，利用的是放电形成等离子体，然后辐射出紫外线，取石的紫外线除了euv，含掺杂的有其他波长的光。
光刻机中所使用的反射镜，实际上是镀膜反射镜，在反射时会对光谱进行筛选，多次反射可以更好的净化光谱，得到复合要求的euv。
光刻机为什么要那么多反射镜？
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